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              簡介集成電路中超純水設備的應用

              來源:南昌水處理設備工程公司 責任編輯:南昌水處理工程師 發表時間:2016-09-12 10:11 點擊:

                在集成電路中超純水設備運行處理時原水中難免會有一些雜質會對設備部件造成影響,這樣不僅會損傷設備本身,更會對水質造成影響,所以要保證設備的正常運行就要解決這些問題。在集成電路中超純水設備為了保證設備的水質穩定,一般采用預處理系統、一次純水處理系統、超純水制取系統、回收水系統這4部分組成。

              超純水設備

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                集成電路中超純水設備采用預處理的目的就是為了去除水中的懸浮物、膠體、高分子等雜質,另外活性炭部分將主要去除水中的余氯等,一次純水處理系統的目的就是為了進一步的對水質進行處理。

                在集成電路清洗中對水質的要求均為超純水,所以這些清洗后的水回收率都很高,一般都可以再利用到冷卻塔和廢氣洗滌塔的補水,或是作為超純水制備的補充水。目前,回收率可達70%,這樣的循環利用,不僅可以節約用水,還可以為企業節約成本。

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