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              集成電路塊清洗用超純水設備

              來源:超純水設備 責任編輯:南昌水處理工程師 發表時間:2018-11-24 12:58 點擊:

                集成電路塊清洗用超純水設備能夠滿足很多大型企業的實際生產需要??蛻粢部梢愿鶕约旱膶嶋H生產需要,適當的調整設備的出水量,使其既能夠滿足自己的需要,又不會造成浪費。集成電路塊清洗用超純水設備有多種水處理裝置,它們能夠有效地去除原水中的雜質、細菌、熱源等有害物質,保證設備的出水水質符合規定的超純水標準。

                集成電路塊清洗用超純水設備工藝流程

                1、采用離子交換方式,其流程如下:

                原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

                2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:

                原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH調節→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

                3、采用EDI方式,其流程如下:

                原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

               

                集成電路塊清洗用超純水設備特點

                1、設備精心布置,安排合理,美觀大方,節水、節能。

                2、石英砂過濾器、活性炭過濾器采用新技術方便反沖洗。

                3、反滲透是經電腦優化設計,設計合理。質量優異,外表美觀,系統的啟動、運行、沖洗、停機自動控制,在RO上有系統控制盤,可現場實時監測RO的有關參數數據,對RO高壓泵的起停進行控制。本系統還設有電導率儀以監測純水出水的水質,具有水質低報警及緊急停機裝置。

                4、反滲透設有自動沖洗功能,可以使反滲透膜組件不易結垢,以保證系統長期可靠運行,即使停機也可保證膜不被腐蝕;本系統設有回水功能以提高純水利率。

                5、所有的水泵具有運轉指示和過載保護功能,集成電路塊清洗用超純水設備中的高壓泵還設有低壓保護功能,當供水量不足,使高壓泵進口水壓低于設定值(通常為0.1Mpa)時,會自動發出信號使高壓泵不啟動,以防止高壓泵空轉。

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