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              半導體制造用超純水設備

              來源:南昌水處理設備工程公司 責任編輯:南昌水處理工程師 發表時間:2018-11-24 13:12 點擊:

                超純水是半導體制造的重要因素之一,半導體制造用超純水設備操作簡單易懂,運行經濟環保,出水不含任何雜質,符合半導體制造的用水標準,深受很多廠家的歡迎。

                萊特萊德水處理設備公司是水處理設備的優質供應商,多年來致力于中國水處理事業的發展,并采納了全球先進的技術和水處理設備。擁有專業技術研發聯隊伍,優良的水處理設備及器材,有配套完善的生產制造工廠,完美的設計,精良的施工質量,完善的售后服務質量,為客戶提供快捷優質的服務。

              超純水設備

                半導體制造用超純水設備的工藝流程

                1、原水→原水增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→中間水箱→輸送泵→混合床離子交換器→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(推薦工藝電阻率≥5MΩ.CM)

                2、原水→原水增壓泵→精密過濾器→電滲析過濾器→中間水箱→中間水泵→離子交換設備→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(傳統工藝電阻率≥5MΩ.CM)

                3、原水→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→復床系統→中間水箱→中間水泵→混合離子交換設備→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(傳統工藝電阻率≥5MΩ.CM)

                4、原水→原水增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→紫外線殺菌器→純水箱→用水點(推薦工藝電導率≤10μS/CM)

                5、原水→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→復床系統→紫外線殺菌器→微孔過濾器→純水箱→用水點(傳統工藝電導率≤10μS/CM)去離子設備處理工藝流程--EDI電去離子設備-去離子設備-水處理工藝流程-多介質過濾器-紫外線消毒-離子交換設備

                半導體制造用超純水設備技術特點

                持續長久的生產超純水,出水水質15MΩ·cm-18MΩ·cm。綠色技術,無需酸堿再生,減少了對環境的污染。低能耗,高水質。

                1、超長純化水道設計,使進水行程更大,純化時間更長,出水水質穩定。

                2、獨立密封圈設計,杜絕膜堆滲漏。

                3、無需清洗,無需再生。

                4、濃水、極水回收利用,有效的節約使用成本。

                5、操作、維護簡便,使用更加便捷。

                6、零部件獨立設計制作,保證半導體制造用超純水設備品質穩定。

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